[コンディショニング設定] ダイアログボックス

このダイアログでは、コンディショニングで使用するチューニングパラメータを設定します。コンディショニングを実行するには、[バッチ測定の設定] ダイアログボックスの [高安定性モード] で、[典型的な環境試料 (ICS-A)] または [典型的な材料マトリックス試料 (1%Cu)] を選択する必要があります。

サンプルタイプ

[典型的な環境試料 (ICS-A)] または [典型的な材料マトリックス試料 (1%Cu)] を設定できます。

[典型的な環境試料 (ICS-A)] を選択した場合:

コンディショニングを実行するときには、チューンモードペインの [プラズマモード] で [一般用] を選択し、[バッチ測定の設定] ダイアログボックスの [高安定性モード] で [典型的な環境試料 (ICS-A)] を選択してください。

[典型的な材料マトリックス試料 (1%Cu)] を選択した場合:

コンディショニングを実行するときには、チューンモードペインの [プラズマモード] で [HMI-25] を選択し、[バッチ測定の設定] ダイアログボックスの [高安定性モード] で [典型的な材料マトリックス試料 (1%Cu)] を選択してください。

バイアル番号

そのコンディショニングで使用する溶液のバイアルを設定します。

質量数 1、質量数 2 および質量数 3

そのコンディショニングでモニターする質量数を設定します。

<詳細>

さらに詳細な設定ができます。

プラズマモード

コンディショニング実行時に使用するプラズマモードを選択します。低マトリックス、一般用、HMI -4、HMI-8、HMI-25、HMI-50、およびHMI-100 から選択できます。

コンディショニング時間

コンディショニングが終わるまでの時間が表示されます。

コンディショニング前後/コンディショニング中

高安定性チューンを実行するタイミングを設定します。高安定性チューンは、コンディショニングの前後、またはコンディショニング実行中の感度変化を測定します。

待ち時間

[コンディショニング中] を選択した場合に有効になり、測定を開始するまでの待ち時間(0~72000 秒)を入力します。

積分時間

各質量数を測定する積分時間を入力します。

繰り返し

高安定性チューン測定の繰り返し回数(0~1000)を入力します。

ドリフトファクタ

コンディショニング中の間の評価値のバイアス(-100~+100%)を設定します。

<キューに追加>

コンディショニングタスクをキューに追加し、このダイアログを閉じます。

内部的には、以下のプロセスが実行されます。

1. 標準のレンズオートチューンが実行されます。[点火シーケンスの設定] ダイアログボックスで [ユーザーチューン] が選択されている場合は、ベースチューンのレンズオートチューンが実行されます。

2. 1 で得られたレンズパラメータを使って、コンディショニングが実行されます。

 

 

 

<ペリポンプ>

[バッチ後の洗浄設定] ダイアログボックスが表示され、高安定性チューンに使用するポストランを設定できます。

<OK>

これらのパラメータがシステムに適用されますが、コンディショニングは実行されません。

<キャンセル>

設定を中止します。

パラメータの初期値

コンディショニングのパラメータの初期値は以下のとおりです。

パラメータ

サンプルタイプ

典型的な環境試料(ICS-A)

典型的な材料
マトリックス試料(1%Cu)

質量数 1

7

6

質量数 2

89

89

質量数 3

205

205

プラズマモード

一般用

一般用

コンディショニング時間

1200

1500

高安定性チューン調整

コンディショニング前後

コンディショニング中

待ち時間

0

600

積分時間

0.1

0.1

繰り返し

5

5

ドリフトファクタ

0

0

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関連項目