故障排除

如果不确定从哪里开始解决问题，请参阅故障排除概述。其中提供了一些有助于识别和解决问题的技巧。

警告信息

• #2100
  • 2150   警告: 接口真空度过高。
  • 2151   警告: 接口真空度过低。
  • 2152   警告: 四极杆真空度过低。
  • 2153   警告: 四极杆真空度过低。
• #2300
  • 2300   警告: QP 测量温度控制故障。

  • 2350   警告: QP1 Pickup 温度控制故障。

• #2400

  • 2400   警告: 冷却水（IF）流量较低。

  • 2403   警告: 冷却水温度较高。
  • 2404   警告: 冷却水温度较低。
  • 2412   警告: 等离子体气体流量较低。
  • 2413   警告: 辅助气体流量较低。
  • 2414   警告: 雾化气流量较低。
  • 2415   警告: 补偿气体流量较低。
  • 2416   警告: 可选气体流量超出允许范围。
  • 2417   警告: 可选气体流量超出允许范围。
  • 2418   警告: 可选气体流量超出允许范围。
  • 2426   警告：碰撞池温度过高。
  • 2433   警告: 入口温度较高。
  • 2435   警告: 内部/入口温度差超出警告限值。
• #2600
  • 2605   警告: Y 轴炬管位置超出警告限值。
  • 2606   警告: Z 轴炬管位置超出警告限值。
  • 2607   警告: Y 轴移动由于顶盖部分关闭而被禁止。
  • 2608   警告: 炬管位置初始化失败。
  • 2610   警告: 炬管位置未初始化。

错误信息

• #1000
  • 1000   执行错误: 仪器正在转换模式。
  • 1001   执行错误: 仪器正忙 - 正在点燃等离子体。
  • 1002   执行错误: 仪器正忙 - 等离子体熄火序列正在运行。
  • 1003   执行错误: 无法在等离子体点火期间执行命令。
  • 1004   执行错误: 仪器正忙 - 正在更新参数。
  • 1005   执行错误: 仪器当前处于关闭模式。
  • 1006   执行错误: 冷却水（IF）流量过低。
  • 1007   执行错误: 仪器未处于关闭模式。
  • 1009   执行错误: 真空度（BK）过低。
  • 1010   执行错误: 真空度（IF）过低。
  • 1012   执行错误: 由于涡轮泵已打开而无法执行命令。
  • 1014   执行错误: 由于 24V 电源已打开而无法执行。
  • 1015   执行错误: 无法在雾化室温度控制打开时执行。
  • 1017   执行错误: 炬管位置 X 轴超出范围。
  • 1022   执行错误: 由于碰撞池真空度较低，因此无法打开旁路阀。
  • 1023   执行错误: 仪器必须在分析模式下打开/关闭八极杆碰撞/反应池系统模式。
  • 1024   执行错误: 系统在碰撞池模式转换期间，无法打开/关闭八极杆碰撞/反应池系统。
  • 1025   执行错误: 碰撞池气体只能在分析模式下打开。
  • 1026   执行错误: 更换 RF 发生器。RF 电缆连接断开。
  • 1027   执行错误: 更换 RF 发生器。RF 电缆连接断开。
  • 1029   执行错误: 冷却水阀传感器或冷却水阀故障。
  • 1030   执行错误：要打开或关闭碰撞池气体稀释阀时，必须将仪器切换至待机模式。
  • 1040   执行错误: 由于 QP48VON 处于开启状态而无法关闭 QP1 风扇。
  • 1041   执行错误: 无法处理第四个 MFC 停止阀。
  • 1060   错误: ADS 2 控制板错误。
  • 1061   错误: ADS 2 电磁阀错误。
  • 1062   错误: ADS 2 注入泵错误。
  • 1063   错误: ADS 2 切换阀 (阀 A 或 B) 错误。
  • 1064   错误: ADS 2 平台错误。
  • 1065   错误: ADS 2 通讯错误。
  • 1066   错误: ADS 2 操作失败。
  • 1067   错误: ADS 2 固件不匹配错误。
  • 1090   执行错误: EEPROM 内容错误。

  • 1091   执行错误: 主板中出现固件引导错误。请上传主板固件。

  • 1092   执行错误: 闪存 ROM 写入错误。请上传主板固件。
• #1100
  • 1101   错误: 真空（BK）超时，真空度过低，无法启动涡轮泵。
  • 1102   错误: 真空（BK）超时，真空度过低，无法打开离子真空规（AN）。
  • 1103   错误: 真空度（BK）降低到涡轮泵打开限值以下。
  • 1104   错误: 真空度（BK）过低，无法使离子真空规（AN）保持打开状态。
  • 1110   错误: Pirani 真空规（BK）故障（打开）。
  • 1111   错误: 真空度（BK）过低，无法使离子真空规（AN）保持打开状态。
  • 1112   错误: Pirani 真空规（BK）故障（打开）。
  • 1113   错误: 真空度（BK）过低，无法使离子真空规（AN）保持打开状态。
  • 1115   错误: 真空度（BK）过低，无法使离子真空规（AN）保持打开状态。
  • 1116   错误: Pirani 真空规（BK）故障（打开）。
  • 1118   错误: 真空度（IF）超时，真空度过低，无法打开闸阀。
  • 1119   错误: 真空度（IF）过低，无法打开闸阀。
  • 1120   错误: 真空度（IF）过低，无法保持分析模式。
  • 1122   错误: 离子真空规（AN）故障。
  • 1123   错误: 真空度（AN）超时，真空度过低，无法进入待机模式。
  • 1124   错误: 真空度（AN）超时，真空度过低，无法进入分析模式。
  • 1127   错误: 真空度（AN）过低，无法保持待机模式。
  • 1128   错误: 离子真空规（AN）仪表读数在分析模式下超出范围。
  • 1129   错误: 真空度（AN）过低，无法保持分析模式。
  • 1131   错误: 真空度（AN）超时，真空度在闸阀关闭后过低。
  • 1133   错误: 涡轮泵（A）未达到目标速度。
  • 1134   错误: 闸阀未打开。
  • 1135   错误: 闸阀打开时出现故障，阀再次关闭。
  • 1139   错误: 涡轮泵未达到待机模式的目标速度。
  • 1141   错误: 闸阀在分析模式时由于错误而关闭。
  • 1143   错误: 涡轮泵未达到分析模式的目标速度。
  • 1147   错误: 闸阀未在等离子体熄火时关闭。
  • 1149   错误: 真空度（BK）过低，无法使涡轮保持打开状态。
  • 1152   错误: 底座电磁阀（SVBK）未打开。
  • 1153   错误: 接口电磁阀（SVIF）未打开。
  • 1154   错误: 无法开始真空序列，因为闸阀已打开。
  • 1155   错误: 涡轮泵未达到目标速度（待机 > 关闭）。请重启 ICP-MSICP-QQQ 以重置。
  • 1158   错误: 离子真空规仪表读数超出范围（关闭 > 待机）。
  • 1159   错误: 无法打开离子真空规，前级真空度过低。
  • 1160   错误: 离子真空规的 HV 超出范围（关闭 > 待机）。
  • 1161   错误: 离子真空规的电流超出范围（关闭 > 待机）。
  • 1162   错误: 离子真空规的 HV 超出范围（待机 > 分析）。
  • 1163   错误: 离子真空规的电流超出范围（待机 > 分析）。
  • 1164   错误: 离子真空规的 HV 超出范围（分析 > 待机）。
  • 1165   错误: 离子真空规的电流超出范围（分析 > 待机）。
  • 1166   错误: 离子真空规的 HV 超出范围（待机）。
  • 1167   错误: 离子真空规的 HV 超出范围（待机）。
  • 1168   错误: 离子真空规的 HV 超出范围（分析）。
  • 1169   错误: 离子真空规的电流超出范围（分析）。
  • 1170   错误: 涡轮泵 2 在待机模式未达到目标速度。
  • 1171   错误: 涡轮泵 2 在分析模式未达到目标速度。
  • 1172   错误: 涡轮泵 2 在关闭到待机模式转换期间未达到目标速度。
  • 1173   错误: QQQ 系统 I/O 板上的 ORSEPC 继电器故障。
  • 1174   错误: QQQ 系统 I/O 板上的 ORSEPC 继电器故障。
  • 1175   错误: QQQ 系统 I/O 板上的 ORSEPC 继电器故障。
• #1200
  • 1200   错误: 并联电容器超时，未达到目标值。
  • 1202   错误: RF 反馈功率超时。反馈功率未达到预匹配限值以下。
  • 1203   错误: 等离子体未点燃。
  • 1205   错误: 涡轮未减速（待机 > 关闭）。关闭主电源以重置。请重启 ICP-MSICP-QQQ 以重置。
  • 1206   错误: 涡轮未减速。涡轮泵电源已关闭。请等待 20 分钟。
  • 1210   错误: RF amp FET 漏电流过高。
  • 1211   错误: RF 功率控制故障。
  • 1212   错误: RF48V 电源电压过高。
  • 1213   错误: RF48V 电源电压过低。
  • 1214   错误: RF amp FET 温度过高。
  • 1215   错误: RF amp FET 漏电压太高。
  • 1216   错误: RF 功率不平衡。
  • 1218   错误: 等离子体已关闭。（等离子体 RF 监测）。
  • 1219   错误: 等离子体在真空（IF）打开期间被关闭。
  • 1220   错误: 等离子体在分析期间被关闭。（真空）
  • 1221   错误: 更换 RF 发生器: DCP 反馈电缆已断开。
  • 1222   错误: 大或小顶盖已打开。
  • 1223   错误: RF 漏电压过低。
  • 1226   错误: RF amp 散热风扇出现故障。
  • 1228   错误: 等离子体在雾化气和补偿气流开始时关闭。
  • 1230   错误: 在打开闸阀时等离子体被关闭。
  • 1231   错误: 在打开闸阀后等离子体被关闭。
  • 1232   错误: 等离子体在调用调谐参数时被关闭。
  • 1233   错误: RF 发生器已关闭了 48V 电源。
• #1300
  • 1300   错误: QP2 风扇故障。
  • 1301   错误: 四极杆控制（反馈电路）故障。
  • 1302   错误: +600V 电源电压过低。
  • 1303   错误: +600V 电源电压过高。
  • 1304   错误: -720V 电源电压过低。
  • 1305   错误: -720V 电源电压过高。
  • 1306   错误: 四极杆 amp 温度过高。
  • 1307   错误: 透镜和 EM 电源无法打开。
  • 1308   错误: 八极杆漏电流错误。
  • 1309   错误: 八极杆控制故障。
  • 1350   错误: QP1 风扇故障。
  • 1351   错误: QP1 控制（反馈电流）故障。
  • 1352   错误: QP1 +600 电源电压过低。
  • 1353   错误: QP1 +600 电源电压过高。
  • 1354   错误: QP1 -720V 电源电压过低。
  • 1355   错误: QP1 -720V 电源电压过高。
  • 1356   错误: QP1 Amplifier 温度过高。
  • 1361   错误: 轴向加速电流超出范围。
• #1400
  • 1400   错误: 冷却水（IF,RF）流量过低。
  • 1402   错误: 冷却水温度过高。
  • 1406   错误: AVS 阀未按照请求切换。
  • 1410   错误: 炬管位置 X 轴限值开关异常。
  • 1411   错误: 炬管位置 Y 轴限值开关异常。
  • 1413   错误: 炬管位置 X 轴发生超时。
  • 1414   错误: 炬管位置 Y 轴发生超时。
  • 1415   错误: 炬管位置 Z 轴发生超时。
  • 1416   错误: 炬管位置 X 轴初始化失败。
  • 1417   错误: 炬管位置 Y 轴初始化失败。
  • 1418   错误: 炬管位置 Z 轴初始化失败。
  • 1422   错误: 炬管位置初始化超时。
  • 1426   错误：碰撞池温度过高。
  • 1427   错误：碰撞池温度控制故障。温度控制已停止。
  • 1428   错误: 碰撞池温度异常。
  • 1429   错误: 碰撞池加热器故障。
  • 1430   错误: 进气温度过高。
  • 1432   错误: 机箱内部温度过高。
  • 1433   错误: 24V 电源出现故障。
  • 1437   错误: 15V 电源出现故障。
  • 1438   错误: 更换 ORS AMFC 组件。用于 AMFC 组件中的氢气的阀没有完全关闭。
  • 1439   错误: 更换第三个 MFC 组件。质量流量组件中的 NH3 阀没有完全关闭。
  • 1440   错误: 冷却水（IF）流量过低。雾化室温度控制已关闭。
  • 1441   错误: 雾化室温度（L）过高。
  • 1442   错误: 雾化室温度（L）过低。
  • 1443   错误: 雾化室温度控制故障。
  • 1445   错误: 等离子体气体流量过低。
  • 1446   错误: 辅助气体流量过低。
  • 1449   错误: 雾化室温度（H）过高。
  • 1450   错误: 雾化室温度（H）过低。
  • 1456   错误: 氩气控制器（AMFC）故障。
  • 1457   错误: AMFC 操作参数超出范围。更换 AMFC。
  • 1458   错误: 四极杆 BD 操作参数超出范围。更换四极杆 BD。
  • 1460   错误: AMFC 模块信息与仪器类型不匹配。请检查 Ar AMFC 连接线或更换 Ar AMFC。
  • 1461   错误: ORS AMFC 模块信息与仪器类型不匹配。请检查 ORS AMFC 连接线或更换 ORS AMFC。
  • 1466   错误: 可选气体流量超出可接受的范围。
  • 1467   错误: 可选气体流量超出可接受的范围。
  • 1468   错误: 可选气体流量超出可接受的范围。
  • 1470   错误: 氩气输入压力过低，导致待机时的氩气吹扫被取消。请提升氩气压力，然后重新配置氩气吹扫。
  • 1471   错误: 可选气体输入压力过低，导致待机时的氩气吹扫被取消。请提升可选气体压力，或将流量设置为 0.0 L/min，然后重新配置氩气吹扫。
  • 1472   错误: 顶盖没有关闭，导致待机时的氩气吹扫被取消。请关闭顶盖，然后重新配置氩气吹扫。
  • 1473   错误: 检测到了排气管道系统停止，导致待机时的氩气吹扫被取消并暂停。
  • 1474   错误: 发生了电源故障，导致待机时的氩气吹扫被取消。
  • 1480   错误: 发现第四种碰撞池气体有内部泄漏情况。更换第四种 MFC。
  • 1498   错误: QP1 PCA 操作参数超出范围。代替 QP BD。
• #1500
  • 1518   错误: 主板通讯错误。
  • 1519   错误: XYZ 板通讯错误。
  • 1520   错误: 样品引入板通讯错误。
  • 1521   错误: 系统 I/O 板通讯错误。
  • 1522   错误: 四极杆控制器板通讯错误。
  • 1523   错误: RF 驱动板通讯错误。
  • 1524   错误: HV 驱动板通讯错误。
  • 1525   错误: 八极杆驱动板通讯错误。
  • 1526   错误: 碰撞池气体控制器板通讯错误。
  • 1527   错误: AVS PCA 通讯错误。

  • 1528   错误: QP1 PCA 通讯错误。

  • 1529   错误: QQQ 系统 PCA 通讯错误。