トラブルシューティング

問題を解決するために何から始めればよいか不明な場合は、トラブルシューティングの概要をお試しください。

問題の特定と解決に役立つヒントを提供します。

警告メッセージ

• #2100
  • 2150   注意: 真空（IF）が低すぎます。
  • 2151   注意: 真空（IF）が上昇しています。
  • 2152   注意: 真空（AN）が上昇しています。
  • 2153   注意: 真空（AN）が上昇しています。
• #2300
  • 2300   注意: QP ピックアップ温度制御の故障。
  • 2350   注意: QP1 ピックアップ温度コントロールが正しく動作していません。
• #2400
  • 2400   注意: 冷却水の流量（IF）が低下しています。
  • 2403   注意: 冷却水の温度が上昇しています。
  • 2404   注意: 冷却水の温度が低下しています。
  • 2412   注意: プラズマガス流量が低下しています。
  • 2413   注意: 補助ガス流量が低下しています。
  • 2414   注意: ネブライザガス流量が低下しています。
  • 2415   注意: メークアップガス流量が低下しています。
  • 2416   注意: オプションガス流量が適正範囲外です。
  • 2417   注意: オプションガス流量が適正範囲外です。
  • 2418   注意: オプションガス流量が適正範囲外です。
  • 2426   注意: セル温度が上昇しています。
  • 2433   注意: 吸気口温度が上昇しています。
  • 2435   注意: 内部/吸気口の温度差が警告リミットを超えました。
• #2600
  • 2605   注意: トーチ位置 Y 軸が警告リミットを超えました。
  • 2606   注意: トーチ位置 Z 軸が警告リミットを超えました。
  • 2607   注意: トーチ位置 カバー（小）が全開でないため、トーチを移動できません。
  • 2608   注意: トーチ位置の初期化に失敗しました。
  • 2610   注意: トーチ位置の初期化が行われていません。

エラーメッセージ

• #1000
  • 1000   コマンド実行条件エラー: モード移行中のため、実行できません。
  • 1001   コマンド実行条件エラー: プラズマ点火中のため、実行できません。
  • 1002   コマンド実行条件エラー: プラズマ消火中のため、実行できません。
  • 1003   コマンド実行条件エラー: プラズマ点火中のため、コマンドを実行できません。
  • 1004   コマンド実行条件エラー: パラメータ設定中のため、実行できません。
  • 1005   コマンド実行条件エラー: 停止モードのため、実行できません。
  • 1006   コマンド実行条件エラー: 冷却水の流量（IF）が低すぎるため、実行できません。
  • 1007   コマンド実行条件エラー: 停止モードでないため、実行できません。
  • 1009   コマンド実行条件エラー: 真空圧力（BK）が高いため、ターボポンプを始動できません。
  • 1010   コマンド実行条件エラー: 真空圧力（IF）が高いため、ゲート弁を開くことができません。
  • 1012   コマンド実行条件エラー: ターボポンプが ON のため、コマンドを実行できません。
  • 1014   コマンド実行条件エラー: 24V電源が ON のため、実行できません。
  • 1015   コマンド実行条件エラー: S/C温度制御中のため、実行できません。
  • 1017   コマンド実行条件エラー: トーチ位置 X 軸が可動範囲外、又は小カバーが閉まっているために、実行できません。
  • 1022   コマンド実行条件エラー: セル内圧力が高いため、バイパスバルブを開けられません。
  • 1023   コマンド実行条件エラー: ORS モードは機器が分析モードでのみオン/オフにできます。
  • 1024   コマンド実行条件エラー: セルモードの移行中に ORS をオン/オフすることはできません 。
  • 1025   コマンド実行条件エラー: セルガスが流れるのは分析モードのみです。
  • 1026   コマンド実行条件エラー: RF ジェネレータを交換してください。RF ケーブルが切断されています。
  • 1027   コマンド実行条件エラー: RF ジェネレータを交換してください。RF ケーブルが切断されています。
  • 1029   コマンド実行条件エラー: 冷却水バルブセンサまたは冷却水バルブの故障。
  • 1030   コマンド実行条件エラー： Cell Gas Dilution valveはスタンバイモードでのみ操作可能。
  • 1040   コマンド実行条件エラー: QP48V 電源が ON  のため、QP1 ファンをオフにできません。
  • 1041   コマンド実行条件エラー: 第4 マスフローコントローラストップバルブを操作できません。
  • 1060   エラー: ADS 2 コントロールボードのエラー。
  • 1061   エラー: ADS 2 ソレノイドバルブのエラー。
  • 1062   エラー: ADS 2 シリンジポンプのエラー。
  • 1063   エラー: ADS 2 切り替えバルブ (バルブ A または B) のエラー。
  • 1064   エラー: ADS 2 プラットフォームのエラー。
  • 1065   エラー: ADS 2 通信エラー。
  • 1066   エラー: ADS 2 動作が失敗しました。
  • 1067   エラー: ADS 2 ファームウェアの不一致エラー。
  • 1090   コマンド実行条件エラー: EPROMの内容が不正です。
  • 1091   コマンド実行条件エラー: メインボードファームウェアのブートエラー。 メインボードファームウェアをアップロードしてください。
  • 1092   コマンド実行条件エラー: フラッシュROM書き込みエラー。 メインボードファームウェアをアップロードしてください。
• #1100
  • 1101   エラー: 真空(BK）タイムアウト。 真空圧力(BK）が高いため、ターボポンプを始動できません。
  • 1102   エラー: 真空(BK）タイムアウト。 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）をONにできません。
  • 1103   エラー: 真空圧力(BK）が高いため、ターボポンプを起動 にできません(起動可能上限値以上）。
  • 1104   エラー: 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）を起動できません。
  • 1110   エラー: ピラニーゲージ(BK）故障(断線）。
  • 1111   エラー: 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）を起動できません。
  • 1112   エラー: ピラニーゲージ(BK）故障(断線）。
  • 1113   エラー: 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）を起動できません。
  • 1115   エラー: 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）を起動できません。
  • 1116   エラー: ピラニーゲージ(BK）故障(断線）。
  • 1118   エラー: 真空(IF）タイムアウト。 真空圧力(IF）が高いため、ゲート弁を開けることができません。
  • 1119   エラー: 真空圧力(IF）が高いため、ゲート弁を開けることができません。
  • 1120   エラー: 真空圧力(IF）が高いため、分析モードを維持できません。
  • 1122   エラー: イオンゲージ（AN）故障。
  • 1123   エラー: 真空（AN）タイムアウト。 真空圧力（AN）が高いため、スタンバイモードに移行できません。
  • 1124   エラー: 真空（AN）タイムアウト。 真空圧力（AN）が高いため、分析モードに移行できません。
  • 1127   エラー: 真空圧力（AN）が高いため、スタンバイモードを維持できません。
  • 1128   エラー: 分析モードでイオンゲージ（AN）メーターの測定値が範囲外です。
  • 1129   エラー: 真空圧力（AN）が高いため、分析モードを維持できません。
  • 1131   エラー: 真空（AN）タイムアウト。 ゲート弁クローズ後の真空圧力（AN）が高すぎます。
  • 1133   エラー: ターボポンプ（A）回転数が既定値以下です。
  • 1134   エラー: ゲート弁が開きません。
  • 1135   エラー: ゲート弁異常。ゲート弁を再度閉じました。
  • 1139   エラー: ターボポンプがスタンバイモードの目標速度になっていません。
  • 1141   エラー: 分析モードにおいて、異常によりゲート弁が閉まりました。
  • 1143   エラー: ターボポンプが分析モードの目標速度になっていません。
  • 1147   エラー: プラズマ消火時に、ゲート弁が閉まりません。
  • 1149   エラー: 真空圧力（BK）が高いため、ターボポンプを起動 できません
  • 1152   エラー: バッキング用電磁弁（SVBK）が開きません。
  • 1153   エラー: インターフェース用電磁弁（SVIF）が開きません。
  • 1154   エラー: ゲート弁が開いているため、真空シーケンスを開始することができません。
  • 1155   エラー: ターボポンプの回転数が下がりきらないので停止モードに移行できません。ICP-MSICP-QQQの電源を入れ直してリセットしてください。
  • 1158   エラー: イオンゲージメーターの測定値が範囲外です（停止 -> スタンバイ）。
  • 1159   エラー: バッキングの真空度が高いためイオンゲージを起動できません。
  • 1160   エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（停止->スタンバイ）。
  • 1161   エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（停止->スタンバイ）。
  • 1162   エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（スタンバイ->分析）。
  • 1163   エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（スタンバイ->分析）。
  • 1164   エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（分析->スタンバイ）。
  • 1165   エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（分析->スタンバイ）。
  • 1166   エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（スタンバイ）。
  • 1167   エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（スタンバイ）。
  • 1168   エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（分析）。
  • 1169   エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（分析）。
  • 1170   エラー: ターボポンプ2がスタンバイモードの目標速度になっていません。
  • 1171   エラー: ターボポンプ2が分析モードの目標速度になっていません。
  • 1172   エラー: ターボポンプ2回転数が既定値以下です（停止 -> スタンバイ）。
  • 1173   エラー: QQQ システム I/O ボードのORS EPCリレーが正しく動作していません。
  • 1174   エラー: QQQ システム I/O ボードのORS EPCリレーが正しく動作していません。
  • 1175   エラー: QQQ システム I/O ボードのORS EPCリレーが正しく動作していません。
• #1200
  • 1200   エラー: シャントキャパシタが規定時間内に移動できません。
  • 1202   エラー: RF 反射電力が規定時間内に下がりません。
  • 1203   エラー: プラズマが点火しません。
  • 1205   エラー: ターボポンプが減速しません（スタンバイ -> 停止）。ICP-MSICP-QQQの電源を入れ直してリセットしてください。 to reset.
  • 1206   エラー: ターボポンプが減速しません。ターボポンプの電源はオフになっています。20 分間お待ちください。
  • 1210   エラー: RF FET ドレイン電流が異常です（上限値以上）。
  • 1211   エラー: RFパワー制御が正しく動作していません。
  • 1212   エラー: RF アンプ FET ドレイン電圧が高すぎます。
  • 1213   エラー: RF48V 電源電圧異常（下限値以下）。
  • 1214   エラー: RF FET 温度上昇。
  • 1215   エラー: RF FET ドレイン電圧が高すぎます。
  • 1216   エラー: RF 出力がアンバランスです。
  • 1218   エラー: プラズマが消えました（プラズマRF監視）。
  • 1219   エラー: 真空（IF）排気処理中に、プラズマが消えました。
  • 1220   エラー: 分析中にプラズマが消えました（真空監視）。
  • 1221   エラー: RF ジェネレータを交換してください: DCP フィードバックケーブルが断線しています。
  • 1222   エラー: カバー（大,小）のいずれかが開いています。
  • 1223   エラー: RF ドレイン電圧異常です（下限値以下）。
  • 1226   エラー: RF アンプ冷却ファン異常。
  • 1228   エラー: ネブライザガスとメークアップガスをオンにしたときにプラズマがシャットオフしました。
  • 1230   エラー: ゲート弁を開くときにプラズマがシャットオフしました。
  • 1231   エラー: ゲート弁を開いた後、プラズマがシャットオフしました。
  • 1232   エラー: チューンパラメータの読み込み時にプラズマがシャットオフしました
  • 1233   エラー: RF ジェネレータの 48V 電源がオフになっています。
• #1300
  • 1300   エラー: Q ポール 2 ファン異常。
  • 1301   エラー: Q ポール フィードバック異常。
  • 1302   エラー: +600V 電源異常（供給電圧が下限値以下）。
  • 1303   エラー: +600V 電源異常（供給電圧が上限値以上）。
  • 1304   エラー: -720V 電源異常（供給電圧が下限値以下）。
  • 1305   エラー: -720V 電源異常（供給電圧が上限値以上）。
  • 1306   エラー: Q ポール アンプ温度が高すぎます。
  • 1307   エラー: レンズ・EM 電源が作動できません
  • 1308   エラー: オクタポールドレイン電流エラー。
  • 1309   エラー: オクタポール フィードバック異常。
  • 1350   エラー: Q ポール 1 ファン異常。
  • 1351   エラー: Q ポール 1 フィードバック異常。
  • 1352   エラー: Q ポール 1 +600V 電源異常（供給電圧が下限値以下）。
  • 1353   エラー: Q ポール 1 +600V 電源異常（供給電圧が上限値以上）。
  • 1354   エラー: Q ポール1 -720V 電源異常）供給電圧が下限値以下）。
  • 1355   エラー: Q ポール1 -720V 電源異常（供給電圧が上限値以上）。
  • 1356   エラー: Q ポール 1 アンプ温度が高すぎます。
  • 1361   エラー: Axial Acceleration 電流が上限を越えています。
• #1400
  • 1400   エラー: 冷却水の流量（IF、RF）が低すぎます。
  • 1402   エラー: 冷却水の温度が高すぎます。
  • 1406   エラー: AVS バルブが設定どおりに切り替わりません。
  • 1410   エラー: トーチ位置 X 軸リミットスイッチ 異常。
  • 1411   エラー: トーチ位置 Y 軸リミットスイッチ 異常。
  • 1413   エラー: トーチ位置 X 軸移動時タイムアウト。
  • 1414   エラー: トーチ位置 Y 軸移動時タイムアウト。
  • 1415   エラー: トーチ位置 Z 軸移動時タイムアウト。
  • 1416   エラー: トーチ位置 X 軸の初期化に失敗しました。
  • 1417   エラー: トーチ位置 Y 軸の初期化に失敗しました。
  • 1418   エラー: トーチ位置 Z 軸の初期化に失敗しました。
  • 1422   エラー: トーチ位置 初期化タイムアウト。
  • 1426   エラー: セル温度が高すぎます。
  • 1427   エラー: セル温度コントロールが正常に機能していないため、温度コントロールを停止しました。
  • 1428   エラー: セル温度異常。
  • 1429   エラー: セルヒーター異常。
  • 1430   エラー: 吸気口温度が異常（上限値以上）。
  • 1432   エラー: 内部温度が上昇しています。
  • 1433   エラー: 内部電源（24V系）異常。
  • 1437   エラー: 内部電源（15V 系）異常。
  • 1438   エラー: ORS AMFC アセンブリを交換してください。AMFC アセンブリの H2 ガスバルブが完全に閉じません。
  • 1439   エラー: 第 3 MFC アセンブリを交換してください。マスフローアセンブリの NH3 ガスバルブが完全に閉じません。
  • 1440   エラー: 冷却水の流量（IF）が低すぎます。 スプレーチャンバ温度コントロール停止。
  • 1441   エラー: S/C温度（L）が高すぎます。
  • 1442   エラー: S/C温度（L）が低すぎます。
  • 1443   エラー: S/C 温度制御不能。
  • 1445   エラー: プラズマガス流量が異常（下限値以下）。
  • 1446   エラー: 補助ガス流量が異常（下限値以下）。
  • 1449   エラー: S/C 温度（H）が高すぎます。
  • 1450   エラー: S/C温度（H）が低すぎます。
  • 1456   エラー: Ar ガスコントローラ（AMFC）異常。
  • 1457   エラー: AMFC 動作パラメータが範囲外です。AMFC を交換してください。
  • 1458   エラー: QP BD 操作パラメータが範囲外です。QP BD を交換してください。
  • 1460   エラー: AMFC モジュール情報が機器タイプと一致していません。Ar AMFC ケーブルをチェックしてください。または Ar AMFC を交換してください。
  • 1461   エラー: ORS AMFC モジュール情報が機器タイプと一致していません。ORS AMFC ケーブルをチェックしてください。または ORS AMFC を交換してください。
  • 1466   エラー: オプションガス流量が許容範囲外です。
  • 1467   エラー: オプションガス流量が許容範囲外です。
  • 1468   エラー: オプションガス流量が許容範囲外です。
  • 1470   エラー: アルゴンガスの背圧が低すぎるため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。アルゴンガス圧力を高めた後、アルゴンガス パージを再設定してください。.
  • 1471   エラー: オプションガスの背圧が低すぎるため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。オプションガスの圧力を高めるか、流量を0.0 L/minに設定した後、アルゴンガスパージを再設定してください。
  • 1472   エラー: トップカバーが開いているため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。トップカバーと閉じた後、アルゴンガス パージを再設定してください。
  • 1473   エラー: 排気ダクトが停止していると判断されたため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。
  • 1474   エラー: 電源オフがあったため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。
  • 1480   エラー: 第 4 セルガスの内部リークが見つかりました。第 4 マスフローコントローラを交換してください。
  • 1498   QP1 PCA 操作パラメータが範囲外です。QP PCA を交換してください。
• #1500
  • 1518   エラー: メインボードの通信エラー。
  • 1519   エラー: XYZ ボードの通信エラー。
  • 1520   エラー: サンプル導入ボードの通信エラー。
  • 1521   エラー: システム I/O ボードの通信エラー。
  • 1522   エラー: Q ポールコントローラボードの通信エラー。
  • 1523   エラー: RF ドライバボードの通信エラー。
  • 1524   エラー: HV ドライバボードの通信エラー。
  • 1525   エラー: OctP ドライバボードの通信エラー。
  • 1526   エラー: セルガスコントローラボードの通信エラー。
  • 1527   エラー: AVS PCA の通信エラー。
  • 1528   エラー: QP1 PCA の通信エラー。
  • 1529   エラー: QQQ システム PCA の通信エラー。