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- その他のヘルプトピック
- 警告メッセージ
- 2150 注意: 真空（IF）が低すぎます。
- 2151 注意: 真空（IF）が上昇しています。
- 2152 注意: 真空（AN）が上昇しています。
- 2153 注意: 真空（AN）が上昇しています。
- 2300 注意: QP ピックアップ温度制御の故障。
- 2350 注意: QP1 ピックアップ温度コントロールが正しく動作していません。
- 2400 注意: 冷却水の流量（IF）が低下しています。
- 2403 注意: 冷却水の温度が上昇しています。
- 2404 注意: 冷却水の温度が低下しています。
- 2412 注意: プラズマガス流量が低下しています。
- 2413 注意: 補助ガス流量が低下しています。
- 2414 注意: ネブライザガス流量が低下しています。
- 2415 注意: メークアップガス流量が低下しています。
- 2416 注意: オプションガス流量が適正範囲外です。
- 2417 注意: オプションガス流量が適正範囲外です。
- 2418 注意: オプションガス流量が適正範囲外です。
- 2426 注意: セル温度が上昇しています。
- 2433 注意: 吸気口温度が上昇しています。
- 2435 注意: 内部/吸気口の温度差が警告リミットを超えました。
- 2605 注意: トーチ位置 Y 軸が警告リミットを超えました。
- 2606 注意: トーチ位置 Z 軸が警告リミットを超えました。
- 2607 注意: トーチ位置 カバー（小）が全開でないため、トーチを移動できません。
- 2608 注意: トーチ位置の初期化に失敗しました。
- 2610 注意: トーチ位置の初期化が行われていません。
- エラー
メッセージ
- 1000 コマンド実行条件エラー: モード移行中のため、実行できません。
- 1001 コマンド実行条件エラー: プラズマ点火中のため、実行できません。
- 1002 コマンド実行条件エラー: プラズマ消火中のため、実行できません。
- 1003 コマンド実行条件エラー: プラズマ点火中のため、コマンドを実行できません。
- 1004 コマンド実行条件エラー: パラメータ設定中のため、実行できません。
- 1005 コマンド実行条件エラー: 停止モードのため、実行できません。
- 1006 コマンド実行条件エラー: 冷却水の流量（IF）が低すぎるため、実行できません。
- 1007 コマンド実行条件エラー: 停止モードでないため、実行できません。
- 1009 コマンド実行条件エラー: 真空圧力（BK）が高いため、ターボポンプを始動できません。
- 1010 コマンド実行条件エラー: 真空圧力（IF）が高いため、ゲート弁を開くことができません。
- 1012 コマンド実行条件エラー: ターボポンプが ON のため、コマンドを実行できません。
- 1014 コマンド実行条件エラー: 24V電源が ON のため、実行できません。
- 1015 コマンド実行条件エラー: S/C温度制御中のため、実行できません。
- 1017 コマンド実行条件エラー: トーチ位置 X 軸が可動範囲外、又は小カバーが閉まっているために、実行できません。
- 1022 コマンド実行条件エラー: セル内圧力が高いため、バイパスバルブを開けられません。
- 1023 コマンド実行条件エラー: ORS モードは機器が分析モードでのみオン/オフにできます。
- 1024 コマンド実行条件エラー: セルモードの移行中に ORS をオン/オフすることはできません 。
- 1025 コマンド実行条件エラー: セルガスが流れるのは分析モードのみです。
- 1026 コマンド実行条件エラー: RF ジェネレータを交換してください。RF ケーブルが切断されています。
- 1027 コマンド実行条件エラー: RF ジェネレータを交換してください。RF ケーブルが切断されています。
- 1029 コマンド実行条件エラー: 冷却水バルブセンサまたは冷却水バルブの故障。
- 1030 コマンド実行条件エラー： Cell Gas Dilution valveはスタンバイモードでのみ操作可能。
- 1040 コマンド実行条件エラー: QP48V 電源が ON のため、QP1 ファンをオフにできません。
- 1041 コマンド実行条件エラー: 第4 マスフローコントローラストップバルブを操作できません。
- 1060 エラー: ADS 2 コントロールボードのエラー。
- 1061 エラー: ADS 2 ソレノイドバルブのエラー。
- 1062 エラー: ADS 2 シリンジポンプのエラー。
- 1063 エラー: ADS 2 切り替えバルブ (バルブ A または B) のエラー。
- 1064 エラー: ADS 2 プラットフォームのエラー。
- 1065 エラー: ADS 2 通信エラー。
- 1066 エラー: ADS 2 動作が失敗しました。
- 1067 エラー: ADS 2 ファームウェアの不一致エラー。
- 1090 コマンド実行条件エラー: EPROMの内容が不正です。
- 1091 コマンド実行条件エラー: メインボードファームウェアのブートエラー。 メインボードファームウェアをアップロードしてください。
- 1092 コマンド実行条件エラー: フラッシュROM書き込みエラー。 メインボードファームウェアをアップロードしてください。
- 1102 エラー: 真空(BK）タイムアウト。 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）をONにできません。
- 1103 エラー: 真空圧力(BK）が高いため、ターボポンプを起動 にできません(起動可能上限値以上）。
- 1104 エラー: 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）を起動できません。
- 1110 エラー: ピラニーゲージ(BK）故障(断線）。
- 1111 エラー: 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）を起動できません。
- 1112 エラー: ピラニーゲージ(BK）故障(断線）。
- 1113 エラー: 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）を起動できません。
- 1115 エラー: 真空圧力(BK）が高いため、イオンゲージ(AN）を起動できません。
- 1116 エラー: ピラニーゲージ(BK）故障(断線）。
- 1118 エラー: 真空(IF）タイムアウト。 真空圧力(IF）が高いため、ゲート弁を開けることができません。
- 1119 エラー: 真空圧力(IF）が高いため、ゲート弁を開けることができません。
- 1120 エラー: 真空圧力(IF）が高いため、分析モードを維持できません。
- 1122 エラー: イオンゲージ（AN）故障。
- 1123 エラー: 真空（AN）タイムアウト。 真空圧力（AN）が高いため、スタンバイモードに移行できません。
- 1124 エラー: 真空（AN）タイムアウト。 真空圧力（AN）が高いため、分析モードに移行できません。
- 1127 エラー: 真空圧力（AN）が高いため、スタンバイモードを維持できません。
- 1128 エラー: 分析モードでイオンゲージ（AN）メーターの測定値が範囲外です。
- 1129 エラー: 真空圧力（AN）が高いため、分析モードを維持できません。
- 1131 エラー: 真空（AN）タイムアウト。 ゲート弁クローズ後の真空圧力（AN）が高すぎます。
- 1133 エラー: ターボポンプ（A）回転数が既定値以下です。
- 1134 エラー: ゲート弁が開きません。
- 1135 エラー: ゲート弁異常。ゲート弁を再度閉じました。
- 1139 エラー: ターボポンプがスタンバイモードの目標速度になっていません。
- 1141 エラー: 分析モードにおいて、異常によりゲート弁が閉まりました。
- 1143 エラー: ターボポンプが分析モードの目標速度になっていません。
- 1147 エラー: プラズマ消火時に、ゲート弁が閉まりません。
- 1149 エラー: 真空圧力（BK）が高いため、ターボポンプを起動 できません
- 1152 エラー: バッキング用電磁弁（SVBK）が開きません。
- 1153 エラー: インターフェース用電磁弁（SVIF）が開きません。
- 1154 エラー: ゲート弁が開いているため、真空シーケンスを開始することができません。
- 1155 エラー: ターボポンプの回転数が下がりきらないので停止モードに移行できません。ICP-MSICP-QQQの電源を入れ直してリセットしてください。
- 1158 エラー: イオンゲージメーターの測定値が範囲外です（停止 -> スタンバイ）。
- 1159 エラー: バッキングの真空度が高いためイオンゲージを起動できません。
- 1160 エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（停止->スタンバイ）。
- 1161 エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（停止->スタンバイ）。
- 1162 エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（スタンバイ->分析）。
- 1163 エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（スタンバイ->分析）。
- 1164 エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（分析->スタンバイ）。
- 1165 エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（分析->スタンバイ）。
- 1166 エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（スタンバイ）。
- 1167 エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（スタンバイ）。
- 1168 エラー: イオンゲージ用HVが範囲外です（分析）。
- 1169 エラー: イオンゲージ電流が範囲外です（分析）。
- 1170 エラー: ターボポンプ2がスタンバイモードの目標速度になっていません。
- 1171 エラー: ターボポンプ2が分析モードの目標速度になっていません。
- 1172 エラー: ターボポンプ2回転数が既定値以下です（停止 -> スタンバイ）。
- 1173 エラー: QQQ システム I/O ボードのORS EPCリレーが正しく動作していません。
- 1174 エラー: QQQ システム I/O ボードのORS EPCリレーが正しく動作していません。
- 1175 エラー: QQQ システム I/O ボードのORS EPCリレーが正しく動作していません。
- 1202 エラー: RF 反射電力が規定時間内に下がりません。
- 1203 エラー: プラズマが点火しません。
- 1205 エラー: ターボポンプが減速しません（スタンバイ -> 停止）。ICP-MSICP-QQQの電源を入れ直してリセットしてください。 to reset.
- 1206 エラー: ターボポンプが減速しません。ターボポンプの電源はオフになっています。20 分間お待ちください。
- 1210 エラー: RF FET ドレイン電流が異常です（上限値以上）。
- 1211 エラー: RFパワー制御が正しく動作していません。
- 1212 エラー: RF アンプ FET ドレイン電圧が高すぎます。
- 1213 エラー: RF48V 電源電圧異常（下限値以下）。
- 1214 エラー: RF FET 温度上昇。
- 1215 エラー: RF FET ドレイン電圧が高すぎます。
- 1216 エラー: RF 出力がアンバランスです。
- 1218 エラー: プラズマが消えました（プラズマRF監視）。
- 1219 エラー: 真空（IF）排気処理中に、プラズマが消えました。
- 1220 エラー: 分析中にプラズマが消えました（真空監視）。
- 1221 エラー: RF ジェネレータを交換してください: DCP フィードバックケーブルが断線しています。
- 1222 エラー: カバー（大,小）のいずれかが開いています。
- 1223 エラー: RF ドレイン電圧異常です（下限値以下）。
- 1226 エラー: RF アンプ冷却ファン異常。
- 1228 エラー: ネブライザガスとメークアップガスをオンにしたときにプラズマがシャットオフしました。
- 1230 エラー: ゲート弁を開くときにプラズマがシャットオフしました。
- 1231 エラー: ゲート弁を開いた後、プラズマがシャットオフしました。
- 1232 エラー: チューンパラメータの読み込み時にプラズマがシャットオフしました
- 1233 エラー: RF ジェネレータの 48V 電源がオフになっています。
- 1300 エラー: Q ポール 2 ファン異常。
- 1301 エラー: Q ポール フィードバック異常。
- 1302 エラー: +600V 電源異常（供給電圧が下限値以下）。
- 1303 エラー: +600V 電源異常（供給電圧が上限値以上）。
- 1304 エラー: -720V 電源異常（供給電圧が下限値以下）。
- 1305 エラー: -720V 電源異常（供給電圧が上限値以上）。
- 1306 エラー: Q ポール アンプ温度が高すぎます。
- 1307 エラー: レンズ・EM 電源が作動できません
- 1308 エラー: オクタポールドレイン電流エラー。
- 1309 エラー: オクタポール フィードバック異常。
- 1350 エラー: Q ポール 1 ファン異常。
- 1351 エラー: Q ポール 1 フィードバック異常。
- 1352 エラー: Q ポール 1 +600V 電源異常（供給電圧が下限値以下）。
- 1353 エラー: Q ポール 1 +600V 電源異常（供給電圧が上限値以上）。
- 1354 エラー: Q ポール1 -720V 電源異常）供給電圧が下限値以下）。
- 1355 エラー: Q ポール1 -720V 電源異常（供給電圧が上限値以上）。
- 1356 エラー: Q ポール 1 アンプ温度が高すぎます。
- 1361 エラー: Axial Acceleration 電流が上限を越えています。
- 1402 エラー: 冷却水の温度が高すぎます。
- 1406 エラー: AVS バルブが設定どおりに切り替わりません。
- 1410 エラー: トーチ位置 X 軸リミットスイッチ 異常。
- 1411 エラー: トーチ位置 Y 軸リミットスイッチ 異常。
- 1413 エラー: トーチ位置 X 軸移動時タイムアウト。
- 1414 エラー: トーチ位置 Y 軸移動時タイムアウト。
- 1415 エラー: トーチ位置 Z 軸移動時タイムアウト。
- 1416 エラー: トーチ位置 X 軸の初期化に失敗しました。
- 1417 エラー: トーチ位置 Y 軸の初期化に失敗しました。
- 1418 エラー: トーチ位置 Z 軸の初期化に失敗しました。
- 1422 エラー: トーチ位置 初期化タイムアウト。
- 1426 エラー: セル温度が高すぎます。
- 1427 エラー: セル温度コントロールが正常に機能していないため、温度コントロールを停止しました。
- 1428 エラー: セル温度異常。
- 1429 エラー: セルヒーター異常。
- 1430 エラー: 吸気口温度が異常（上限値以上）。
- 1432 エラー: 内部温度が上昇しています。
- 1433 エラー: 内部電源（24V系）異常。
- 1437 エラー: 内部電源（15V 系）異常。
- 1438 エラー: ORS AMFC アセンブリを交換してください。AMFC アセンブリの H2 ガスバルブが完全に閉じません。
- 1439 エラー: 第 3 MFC アセンブリを交換してください。マスフローアセンブリの NH3 ガスバルブが完全に閉じません。
- 1440 エラー: 冷却水の流量（IF）が低すぎます。 スプレーチャンバ温度コントロール停止。
- 1441 エラー: S/C温度（L）が高すぎます。
- 1442 エラー: S/C温度（L）が低すぎます。
- 1443 エラー: S/C 温度制御不能。
- 1445 エラー: プラズマガス流量が異常（下限値以下）。
- 1446 エラー: 補助ガス流量が異常（下限値以下）。
- 1449 エラー: S/C 温度（H）が高すぎます。
- 1450 エラー: S/C温度（H）が低すぎます。
- 1456 エラー: Ar ガスコントローラ（AMFC）異常。
- 1457 エラー: AMFC 動作パラメータが範囲外です。AMFC を交換してください。
- 1458 エラー: QP BD 操作パラメータが範囲外です。QP BD を交換してください。
- 1460 エラー: AMFC モジュール情報が機器タイプと一致していません。Ar AMFC ケーブルをチェックしてください。または Ar AMFC を交換してください。
- 1461 エラー: ORS AMFC モジュール情報が機器タイプと一致していません。ORS AMFC ケーブルをチェックしてください。または ORS AMFC を交換してください。
- 1466 エラー: オプションガス流量が許容範囲外です。
- 1467 エラー: オプションガス流量が許容範囲外です。
- 1468 エラー: オプションガス流量が許容範囲外です。
- 1470 エラー: アルゴンガスの背圧が低すぎるため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。アルゴンガス圧力を高めた後、アルゴンガス パージを再設定してください。.
- 1471 エラー: オプションガスの背圧が低すぎるため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。オプションガスの圧力を高めるか、流量を0.0 L/minに設定した後、アルゴンガスパージを再設定してください。
- 1472 エラー: トップカバーが開いているため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。トップカバーと閉じた後、アルゴンガス パージを再設定してください。
- 1473 エラー: 排気ダクトが停止していると判断されたため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。
- 1474 エラー: 電源オフがあったため、アルゴンによるスタンバイ時のガスパージがキャンセルされました。
- 1480 エラー: 第 4 セルガスの内部リークが見つかりました。第 4 マスフローコントローラを交換してください。
- 1498 QP1 PCA 操作パラメータが範囲外です。QP PCA を交換してください。
- 1519 エラー: XYZ ボードの通信エラー。
- 1520 エラー: サンプル導入ボードの通信エラー。
- 1521 エラー: システム I/O ボードの通信エラー。
- 1522 エラー: Q ポールコントローラボードの通信エラー。
- 1523 エラー: RF ドライバボードの通信エラー。
- 1524 エラー: HV ドライバボードの通信エラー。
- 1525 エラー: OctP ドライバボードの通信エラー。
- 1526 エラー: セルガスコントローラボードの通信エラー。
- 1527 エラー: AVS PCA の通信エラー。
- 1528 エラー: QP1 PCA の通信エラー。
- 1529 エラー: QQQ システム PCA の通信エラー。
